01075naa#a2200217#i#450# RU\\bibl\29946 20240428202936.7 2071-7318 20160125b2016####ek#y0rusy0150####ca RU ЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРЫ ALN-ПОКРЫТИЙ ОТ КОНЦЕНТРАЦИИ АЗОТА ПРИ ОСАЖДЕНИИ НА САПФИР МАГНЕТРОННЫМ МЕТОДОМ Журнальная статья Белгород Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова 2016 5 с. Журнальная статья local Химическая технология. Химическая промышленность. Родственные отрасли. 66 Нарцев В.М. Зайцев С.В. Прохоренков Д. С. Евтушенко Е. И. Ващилин В.С. bulletinbstu.editorum.ru