01075naa#a2200217#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200022700094210016400321215001000485608004500495675014000540700002600680700002600706700003600732700003200768700002800800856002900828RU\\bibl\2994620240428143302.7##a2071-7318##a20160125b2016####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРЫ ALN-ПОКРЫТИЙ ОТ КОНЦЕНТРАЦИИ АЗОТА ПРИ ОСАЖДЕНИИ НА САПФИР МАГНЕТРОННЫМ МЕТОДОМeЖурнальная статья1#aБелгородcБелгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шуховаd2016##a5 с.##aЖурнальная статья2local##aХимическая технология. Химическая промышленность. Родственные отрасли. 66#1aНарцевgВ.М. #1aЗайцевgС.В. #1aПрохоренковgД. С.#1aЕвтушенкоgЕ. И.#1aВащилинgВ.С. 4#abulletinbstu.editorum.ru