TY  JOUR
TI  ЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРЫ ALN-ПОКРЫТИЙ ОТ КОНЦЕНТРАЦИИ АЗОТА ПРИ ОСАЖДЕНИИ НА САПФИР МАГНЕТРОННЫМ МЕТОДОМ
KW  нитрид алюминия
KW  сапфир
KW  магнетронное осаждение
KW  структура
JO  Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова
AU  Нарцев, В..
AU  Зайцев, С..
AU  Прохоренков, Д.С.
AU  Евтушенко, Е.И.
AU  Ващилин, В..
PY  2016
IS  1
PB  Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова