%0 Journal Article
%T ЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРЫ ALN-ПОКРЫТИЙ ОТ КОНЦЕНТРАЦИИ АЗОТА ПРИ ОСАЖДЕНИИ НА САПФИР МАГНЕТРОННЫМ МЕТОДОМ
%A Нарцев, В..
%A Зайцев, С..
%A Прохоренков, Д.С.
%A Евтушенко, Е.И.
%A Ващилин, В..
%K нитрид алюминия, сапфир, магнетронное осаждение, структура
%J Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова
%D 2016
%N 1
%P 5
%I Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова