@article{Нарцев2016зависимость,
author={Нарцев, В.. and Зайцев, С.. and Прохоренков, Д.С. and Евтушенко, Е.И. and Ващилин, В..},
title={ЗАВИСИМОСТЬ СТРУКТУРЫ ALN-ПОКРЫТИЙ ОТ КОНЦЕНТРАЦИИ АЗОТА ПРИ ОСАЖДЕНИИ НА САПФИР МАГНЕТРОННЫМ МЕТОДОМ},
journal={Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова},
publisher={Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова},
year={2016},
pages={144-149},
volume={1},
issue={1},
}