%0 Journal Article
%T ПОЛУЧЕНИЕ СЛОЕВ GaN И AlGaN С ПОНИЖЕННОЙ ПЛОТНОСТЬЮ  ДИСЛОКАЦИЙ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ  С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ АММИАКА
%A Мамаев, В..
%A Новиков, С..
%A Петров, С..
%A Зайцев, С..
%A Прохоренков, Д.С.
%K нитридные гетероструктуры AlN, AlGaN, оптоэлектронные приборы УФ-диапазона, СВЧ транзисторы, плотность дислокаций
%J Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова
%D 2016
%N 1
%P 4
%I Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова