@article{Мамаев2016получение, author={Мамаев, В.. and Новиков, С.. and Петров, С.. and Зайцев, С.. and Прохоренков, Д.С.}, title={ПОЛУЧЕНИЕ СЛОЕВ GaN И AlGaN С ПОНИЖЕННОЙ ПЛОТНОСТЬЮ ДИСЛОКАЦИЙ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ АММИАКА}, journal={Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова}, publisher={Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова}, year={2016}, pages={176-180}, volume={1}, issue={2}, }