TY JOUR TI ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ФОРМИРОВАНИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ III-ЕЙ ГРУППЫ НА СТРУКТУРНОЕ СОВЕРШЕНСТВО ПРИБОРНЫХ СТРУКТУР ДЛЯ СВЧ ТРАНЗИСТОРОВ И ОПТОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ДИАПАЗОНА KW нитридные гетероструктуры AlN/AlGaN KW УФ фотокатоды KW СВЧ транзисторы KW плотность дислокаций JO Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова AU Мамаев, В.. AU Новиков, С.. AU Петров, С.. AU Зайцев, С.. AU Прохоренков, Д.С. PY 2017 IS 2 PB Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова