%0 Journal Article
%T ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ФОРМИРОВАНИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ  НИТРИДОВ III-ЕЙ ГРУППЫ НА СТРУКТУРНОЕ СОВЕРШЕНСТВО ПРИБОРНЫХ СТРУКТУР ДЛЯ СВЧ ТРАНЗИСТОРОВ И ОПТОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ  УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ДИАПАЗОНА
%A Мамаев, В..
%A Новиков, С..
%A Петров, С..
%A Зайцев, С..
%A Прохоренков, Д.С.
%K нитридные гетероструктуры AlN/AlGaN, УФ фотокатоды, СВЧ транзисторы, плотность дислокаций
%J Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова
%D 2017
%N 2
%P 7
%I Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова