TY  JOUR
TI  СОЗДАНИЕ НОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ  МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ РАЗЛИЧНОГО ФУНКЦИОНАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ
KW  многокомпонентные покрытия
KW  магнетронные системы
KW  переходной слой
KW  подложка
KW  катод-мишень.
JO  Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова
AU  Колесник, В.В.
AU  Рубанов, Ю.К.
AU  Токач, Ю.Е.
AU  Лимаренко, М.В.
PY  2017
IS  2
PB  Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова