%0 Journal Article
%T СОЗДАНИЕ НОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ  МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ РАЗЛИЧНОГО ФУНКЦИОНАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ
%A Колесник, В.В.
%A Рубанов, Ю.К.
%A Токач, Ю.Е.
%A Лимаренко, М.В.
%K многокомпонентные покрытия, магнетронные системы, переходной слой, подложка, катод-мишень.
%J Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова
%D 2017
%N 2
%P 4
%I Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова