TY JOUR TI ИСПОЛЬЗОВАНИИ GA В КАЧЕСТВЕ СУРФАКТАНТА ДЛЯ УЛУЧШЕНИЯ СТРУКТУРНОГО СОВЕРШЕНСТВА СЛОЕВ ALN И ALGAN, ВЫРАЩЕННЫХ АММИАЧНОЙ МЛЭ KW гетероструктуры KW AlN/AlGaN KW оптоэлектронные приборы KW свч транзисторы KW плотность дислокаций. JO Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова AU Зайцев , С.В. AU Новиков, С.А. AU Петров , С.И. AU Мамаев , В.В. AU Прохоренков , Д.С. PY 2017 IS 2 PB Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова