%0 Journal Article %T ИСПОЛЬЗОВАНИИ GA В КАЧЕСТВЕ СУРФАКТАНТА ДЛЯ УЛУЧШЕНИЯ СТРУКТУРНОГО СОВЕРШЕНСТВА СЛОЕВ ALN И ALGAN, ВЫРАЩЕННЫХ АММИАЧНОЙ МЛЭ %A Зайцев , С.В. %A Новиков, С.А. %A Петров , С.И. %A Мамаев , В.В. %A Прохоренков , Д.С. %K гетероструктуры, AlN/AlGaN, оптоэлектронные приборы, свч транзисторы, плотность дислокаций. %J Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова %D 2017 %N 2 %P 3 %I Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова