00834naa#a2200217#i#450# EN\\bibl\29754 20240511132610.6 2071-7318 20160225b2016####ek#y0engy0150####ca RU GROWTH OF LOW DISLOCATION GaN AND AlGaN layers by ammonia mbe Journal article Belgorod Belgorod State Technological University named after V.G. Shukhov 2016 4 с. Journal article local Химическая технология. Химическая промышленность. Родственные отрасли. 66 Mamaev Viktor Viktorovich Novikov Sergey Andreevich Petrov Stanislav Igorevich Zaycev Sergey Viktorovich Prohorenkov D. S. bulletinbstu.editorum.ru