01012naa#a2200241#i#450# EN\\bibl\16044 20240428172005.7 2071-7318 20170425b2017####ek#y0engy0150####ca RUS RU MULTI-COMPONENT COATINGS FORMATION ON POLYCATHODE MAGNETRON SPUTTERING SYSTEMS Journal article Belgorod Belgorod State Technological University named after V.G. Shukhov 2017 4 с. Journal article local Инженерное дело. Техника в целом. Транспорт. 62 RUS Химическая технология. Химические производства. 35 bbk Химическое и нефтяное машиностроение. 55.39 grnti Kolesnik Valeriy Vladimirovich Rubanov Yuriy Konstantinovich Tokach Yuliya Egorovna Limarenko Mihail Vital'evich bulletinbstu.editorum.ru