01012naa#a2200241#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200010100102210008500203215001000288608002700298675009300325686010200418686008800520700003600608700003500644700002800679700003400707856002900741EN\\bibl\1604420240427213802.6##a2071-7318##a20170425b2017####ek#y0engy0150####ca0#aRUS##aRU1#aMULTI-COMPONENT COATINGS FORMATION ON POLYCATHODE MAGNETRON  SPUTTERING SYSTEMSeJournal article1#aBelgorodcBelgorod State Technological University named after V.G. Shukhovd2017##a4 с.##aJournal article2local##aИнженерное дело. Техника в целом. Транспорт. 62zRUS##aХимическая технология. Химические производства. 352bbk##aХимическое и нефтяное машиностроение. 55.392grnti#1aKolesnikgValeriy Vladimirovich#1aRubanovgYuriy Konstantinovich#1aTokachgYuliya Egorovna#1aLimarenkogMihail Vital'evich4#abulletinbstu.editorum.ru