LDR 01012naa#a2200241#i#450# 001 EN\\bibl\16044 005 20241229052238.7 011 ## _a2071-7318 100 ## _a20170425b2017####ek#y0engy0150####ca 101 0# _aRUS 102 ## _aRU 200 1# _aMULTI-COMPONENT COATINGS FORMATION ON POLYCATHODE MAGNETRON SPUTTERING SYSTEMS _eJournal article 210 1# _aBelgorod _cBelgorod State Technological University named after V.G. Shukhov _d2017 215 ## _a4 с. 608 ## _aJournal article _2local 675 ## _aИнженерное дело. Техника в целом. Транспорт. 62 _zRUS 686 ## _aХимическая технология. Химические производства. 35 _2bbk 686 ## _aХимическое и нефтяное машиностроение. 55.39 _2grnti 700 #1 _aKolesnik _gValeriy Vladimirovich 700 #1 _aRubanov _gYuriy Konstantinovich 700 #1 _aTokach _gYuliya Egorovna 700 #1 _aLimarenko _gMihail Vital'evich 856 4# _abulletinbstu.editorum.ru _u